碳化硅的超細粉碎設備主要有攪拌磨機、氣流磨機、振動磨機及球磨機等。傳統的球磨機應用較早,設備穩定性好,但效率低,能耗大,增加了分級難度。振動磨機粉碎效果還可以,但其能耗較高,工作時噪音大,細磨碳化硅這樣的硬質材料時設備磨損嚴重,氣流磨機生產效率高,生產能力小。